蔡司 EVO 系列

模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用

EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起， 同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学， 材料科学， 或例行的工业质量保证和失效分析领域，凭借广泛的可选配置， EVO 都可以根据您的要求量身定制。

＞ 显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案

＞ 不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品

＞ 使用LaB6灯丝，能够得到优异的图像质量

＞ 对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色

＞ 可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求

优势

▲便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通过使用您的指尖与其进行交互式工作流程控制。它简单易学， 大大减少了培训所付出的努力和成本，甚至新用户在几分钟内也能够捕捉令人惊叹的图像。此用户界面还支持需要自动化工作流程以执行可重复检查任务的工业操作员。

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▲优异的图像质量

EVO 擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取高质量的数据。EVO 还允许样品保留其原始状态， 维持含水和重污染样品的数据质量。此外当成像和微量分析面临挑战时，选用LaB6灯丝则能够给予更好的分辨率、 对比度和信噪比。

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▲EVO 能够与其它设备相关联

EVO可以作为半自动、多模式工作流程的一部分，通过重新定位感兴趣区域，并以多种方式收集数据，形成信息的完整性。将光学和电子显微镜图像合并起来进行材料表征或零件检验，或者将 EVO 与蔡司光学显微镜相关联，进行关联颗粒度分析。

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适合更多用户操作

对于经验丰富的以及新手用户操作都很方便

在实际的实验室环境中，SEM 的操作通常是显微镜专家的专属领域。但是对于非专家级用户来说，操作SEM就变得具有挑战，比如学生、受训者或质量工程师，他们往往也需要从 SEM获取数据。 EVO 则同时考虑了这两类用户的需求，用户界面选项既能满足有经验的显微镜专家也能满足非专业用户的操作需要。

▲专家用户

优选用户界面: SmartSEM

专家用户可以获取以及设定高级的成像参数和分析功能。

SmartSEM: 为有经验用户使用的控制界面

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▲新手用户

优选用户界面: SmartSEM Touch

新手用户可以使用预定义的工作流程和常用的一些参数-非常适合初学者。

SmartSEM Touch: 是一款在触摸屏电脑上运行的简化图形用户界面 

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智能导航与成像

大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出

  ▲蔡司导航相机

相机可以安装在仓室前方， 以监测样品与背散射探测器以及物镜底端之间的相对位置(仓室相机)；或安装在真空室仓门上方 (导航相机)， 利用俯视图查看样品台上样品的摆放位置。此视图可用于设置从光学显微镜图像中识别出的预定义位置， 并在整个样品测试过程中轻松导航。

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   ▲自动化智能成像

EVO实现了对样品批量自动、无人值守的图像采集。蔡司自动化智能成像非常适合例行检测。它使用户能够自定义边界区域，自动生成所需的视图或放大倍数确定的感兴趣区域，并开始自动获取图像。自动化智能成像将大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出。

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将您的研究提升一个层次

使用六硼化镧电子发射器能够获得更好的图像

六硼化镧阴极相较于传统的钨发夹灯丝所发射的电子能够保证您额外所需要的图像质量。这种优势体现在以下两个方面:

＞ 在相等电子探针尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探针电流可供使用， 从而使图像导航和优化更容易

＞ 在相等的探针电流 (信噪比) 下， 光斑直径要小得多， 从而提高了图像分辨率

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EVO 能够与其它设备相关联

工作流程自动化和关联显微镜的好处

 ▲Shuttle & Find 将EVO、光学显微镜和数码显微镜组成一个关联的、多模态工作流程

由于蔡司是各种类型显微镜和计量系统的优秀供应商， 所以您还可以将EVO 与蔡司其它解决方案相结合，使其功能能够发挥得更好。

通过使用Shuttle & Find（蔡司关联显微镜的软硬件部分），您可以在（数码）光学显微镜和 EVO 之间建立一个高效的多模式联用的工作流程。将光学显微镜的光学对比方法与同样的扫描电镜成像和分析方法相结合， 获得互补的数据， 从而更清楚地去了解样品的材料、质量或失效机理。

德国蔡司ZEISS钨灯丝扫描电子显微镜

型号：EVO 10
EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
 扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
 钨灯丝扫描电子显微镜EV0 10技术参数

1、光学系统

1.1、发射源：钨灯丝。可选择普通灯丝或预对中式灯丝。具有自动电子枪启动，自动对中，自动选择电子枪偏压功能。

1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。

1.3、光阑：三级可调物镜光阑，能快速对光阑孔定位，并可作电子束自动对中。

1.4、加速电压：0.2 - 30kV，10V步进连续可调。

1.5、电子束位移：±20µm。

1.6、放大倍数：7 - 1,000,000×

1.7、分辨率：3.0nm @ 30kV（SE）

             8.0nm @ 3kV（SE）

1.8、探针电流范围：0.5 pA - 5 μA，连续可调。

2、真空系统

2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。

2.2、真空度：最高真空度：优于2×10^-4Pa；

2.3、抽真空时间：小于3分钟。

3、样品室

3.1、样品室类型：高刚性、圆形、厚壁，大样品室。

3.2、样品室内部尺寸：310mm（φ）×220mm（h）。

3.3、可放置的最大样品尺寸：直径230mm，高度100mm

3.4、最大允许样品重量：不小于5kg。

3.5、样品台移动方式：5轴电动计算机优中心。

3.6、样品台移动范围：X=80mm, Y=100mm, Z=35mm, T= -10° - 90°, R =360°。

3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。

3.8、具备样品位置感知功能。

3.9、X射线分析条件：出射角 35度；

4.0、分析工作距离：8.5 – 20 mm。

4、探测、成像系统

4.1、高真空二次电子探测器。

4.2、背散射电子探测器（选配）。

4.3、具有X射线能谱仪接口。

4.4、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，可用分屏方式同时显示两种图像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。

4.5、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。

4.6、整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便。

4.7、图像解析度：32k x 24k像素（最大）。

4.8、图像控制：最高电子光学性能与易用性相结合的OptiBeam模式（分辨率模式、景深模式、分析模式、视场模式）。

4.9、操作系统：Windows 7，灵活易用的SmartSEM扫描电镜操作控制软件。

4.10、显示器：24" TFT

可选附件

电镜可选附件用于增强和拓展电子显微镜功能，具体产品涵盖了从样品制备到成像、分析等所有步骤的需求。应用范围包括材料科学、生命科学、地球物理学、电子学，能源科学等领域。

产品类别	产品名称	产品简介
分析设备	能谱仪	检测特征X射线能量，称为能量色散谱仪（Energy Dispersive Spectroscopy），简称能谱仪（EDS）。主要是对材料微区化学成分进行定性及定量分析，可以用于金属、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析等。例如：在扫描电镜下可以结合夹杂物形态及成分进行分析；固体材料的表面涂层、镀层进行分析；结合EBSD对未知材料进行相鉴定等。
	波谱仪	利用晶体衍射分光检测感兴趣的特征X射线波长，称为波长色散谱仪(Wavelength Dispersive Spectroscopy)，简称波谱仪（WDS）。与能谱仪相比，波谱仪的能量分辨率更高，可以将能量非常接近的谱线区分开，同时具有更低的元素检测限，可检测最低元素含量至0.1‰。
	背散射电子衍射探测器	电子背散射衍射（Electron Backscatter Diffraction，简称EBSD）技术，是基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发形成的衍射菊池带的分析，从而确定晶体结构、取向、晶界类型、微织构组成及应变分布等相关信息，是快速而准确的获得晶体取向信息的强有力的分析工具。EBSD技术可用于各种晶体材料——金属、陶瓷、半导体、地质、矿石的分析，结合形貌、能谱信息，可以解决其在形变、再结晶、相变、断裂、腐蚀过程的问题。
	加热台	扫描电镜高温加热台可以动态地观察温度变化时材料微观组织、结构的变化及失效分析，通入气体可进行高温气体反应的观察，结合EBSD可进行不同温度下原位EBSD实验，用于观察晶体材料的相变过程、再结晶形核及长大过程、晶界处的变化等。Gatan系列的加热台具有温度精度高、稳定性好、结构紧凑、样品座方便拆卸等优点。被广泛应用于液晶检测、半导体、高分子材料、流体包裹体、生物工程等众多领域，在冶金材料领域，结合EBSD进行再结晶及相变过程的观察等。
	冷冻台	低温氮气制冷样品台模块，可安装在现有的SEM 样品台上。广泛应用于：电子束敏感材料-如高分子、地质样品、低温冷却后可做微量分析；半导体材料及超导材料-研究低温相及性能；阴极发光及EBIC应用。